介绍了利用气体微流量计的流量测量技术、采用PID和压力锯齿波动2种恒压控制模式测量小孔流导的原理和方法,并对2种控制模式的测量结果进行了比对,一致性好于0.14%。小孔流导的测量值与理论计算值之间有较大偏差,通过漏孔校准实验,证明前者具有更好的准确性。对于几何尺寸不规则的小孔,用实验方法获得其流导值具有实际应用价值。

四极质谱计是一种分压力测量仪器，其线性上限一般为10^-3Pa。通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析，得到高压力下的分压力计算方法，并通过实验验证了该方法的可行性，得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。

介绍了气体质量流量计的校准方法、校准装置。对气体质量流量计的计量特性进行了研究,考虑到质量流量计重复性、线性引起的不确定度以及校准装置的标准不确定度得到了质量流量计修正因子测量不确定度的评定。在校准过程中发现气体质量流量计具有较好的重复性及线性,可用于全量程范围内精确测量和控制流量。

介绍了气体质量流量计的校准方法、校准装置。对气体质量流量计的计量特性进行了研究，考虑到质量流量计重复性、线性引起的不确定度以及校准装置的标准不确定度得到了质量流量计修正因子测量不确定度的评定。在校准过程中发现气体质量流量计具有较好的重复性及线性，可用于全量程范围内精确测量和控制流量。