提出了一种采用光热激励和光拾取的全光谐振技术方法,确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量.该方法基于光热激励的致动机理,使用调制光对硅微机械薄膜结构进行光热激励使之谐振,利用光纤传感技术拾取其谐振频率信号,进而利用谐振理论模型确定其杨氏弹性模量.为准确确定杨氏弹性模量,利用了硅微薄膜结构的前三阶谐振频率进行多次测量,求均值的方法.为简化光激励测试系统,设计了新颖结构的单光源激励测试系统,同时实现了对微机械薄膜结构的激振和信号拾取.

设计了一种基于Fabry-Perot干涉波长测量仪.这种测量仪使用两个Fabry-Perot干涉腔,其中一个作为测量腔、另一个作为参考腔,测量腔的一个反射面与被测对象安装在一起,参考腔的一个反射面与压电陶瓷安装在一起.根据透射光谱中心波长与其干涉腔长之间的关系,当参考腔与测量腔的透射光谱中心波长完全重合时,对纳米级微位移实现实时测量.光源采用半导体激光器,可获得所需要的波长值和波长变化范围.实验结果表明,这种测量仪测量误差不大于1.5 nm,该精度可以满足精密机械加工、光电子和微电子加工以及纳米级测量技术等领域的精度要求.

基于增湿―去湿技术与热泵耦合的蒸发分离电镀废水处理系统可以实现电镀废水零排放处理,其中蒸发分离器作为传热传质核心部件决定了系统性能。搭建了喷雾塔式蒸发分离器试验台,研究了不同溶液浓度下入口溶液温度、入口空气温度、空气流量对喷雾塔分离性能的影响。增加入口溶液温度和入口空气温度可以有效强化分离过程,而只有当原本空气流量不大时增加空气流量,分离过程可以得到明显强化。溶液浓度的增加使得蒸发量和蒸发效率降低,当空气温度不高时可以降低蒸发能耗。