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硅片多线切割机轴承箱组合密封设计

作者: 欧阳桥桢 周木林 胡根平 来源:机械工程师 日期: 2021-02-26 人气:73
硅片多线切割机轴承箱组合密封设计
针对硅片多线切割机的工作特点,对轴承箱的密封问题进行了分析,并创造性地运用组合密封方案,有效地解决了硅片多线切割机轴承箱密封的难题。
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