扩散炉温度自动监控系统是对双管扩散炉温控部分进行改造，以提高炉温精度，从而提高生产线的成品率，降低系统能耗。通过对Actel公司的Fusion系列器件FPGA编程实现系统的硬件控制。用C语言对Actel FPGA内置的8051软核编程实现系统的软件控制。整个监控系统完成数据采集、控制算法和ZigBee无线传输等功能。测试表明，采用Fusion FPGA设计，可以同时完成多路温度控制，整个系统的控制精度也有进一步的提高。

在光伏电池片的生产过程中,扩散炉体的相关元器件经过频繁多次的使用致设备老化,常常会出现故障,使扩散后,硅片方块电阻异常波动,致生产线的扩散环节出现很多异常问题,导致PN结质量下降。文中对扩散炉体零器件老化、损坏而导致的方阻异常进行分析,并寻找相应的解决措施,不断提高PN结制造工艺的稳定性。