光学薄膜，如各种增透膜、干涉滤光片、偏振膜、分光膜和近年来发展起来的激光膜，已成为各种光学仪器中不可缺少的部件。同时对光学膜的质量提出越来越高的要求。膜层的均匀性就是一个重要方面。从理论上讲为了获得均匀的光学薄膜要求蒸发源为一点源，而镀膜基体应当位于以点蒸发源为中心的球面上。然而蒸发源实际上有一定长度，基体又位于一个平面上。因此蒸发后得不到理想均匀的膜层。实践证明使基体做公转和自转是获得均匀膜层较理想的办法。

碱金属掺杂对分子束外延生长的半导体材料有着非常重要的作用。现有的碱金属蒸发源以碱金属释放剂为原材料,蒸发的碱金属量较少,不能满足半导体材料外延生长过程中多次掺杂对碱金属量的需求,因此,自主研究开发了一种通过玻璃管密封碱金属单质获得大量碱金属的蒸发源,其碱金属质量可达2 g,比现有的碱金属蒸发源的碱金属含量(5 mg)提高了近2个量级。在手套箱中将碱金属单质放置在开口处带有球阀的玻璃管内,取出后连接真空泵组抽气处理,再将玻璃管旋转加热完成拉丝密封。封装后的玻璃管放置在蒸发源内部,使用时旋转挡板击碎玻璃管口进行蒸发镀膜。该碱金属蒸发源主要由原材料放置组件、灯丝加热组件、旋转挡板组件和电源控温组件等组成。对加热电源的电路进行非线性整定的PID控制,实现了5 min内将蒸发源的温度误差控制在±0.1 K以内的...