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气体压强对磷掺杂a-Si∶H薄膜电学性能的影响

作者: 陈宇翔 李伟 金鑫 蒋亚东 廖乃镘 蔡海洪 李志 龚宇光 来源:半导体光电 日期: 2022-06-01 人气:3
气体压强对磷掺杂a-Si∶H薄膜电学性能的影响
用射频等离子增强化学气相沉积方法(RF—PECVD)制备磷掺杂氢化非晶硅(a—Si:H)薄膜,研究了辉光放电气体压强(20-80Pa)对薄膜的暗电导率、电导激活能以及电阻温度系数的影响;利用激光喇曼光谱研究了气体压强对a—Si:H薄膜微结构的影响,并与薄膜的电学性能进行了综合讨论。结果表明:随着辉光放电气体压强的增加,a-Si:H薄膜的暗电导逐步减小,但电导激活能和电阻温度系数都有不同程度的增大;同时,薄膜内非晶网络的短程和中程有序程度逐渐恶化。

抗氧剂N杂环化合物的合成、评价及其对NBR物理性能和电学性能的影响

作者: 高嗣土(编译) 来源:橡胶参考资料 日期: 2021-06-03 人气:129
不饱和共聚物橡胶广泛应用于工业领域.然而,橡胶会在热、氧和光作用下氧化,从而适用范围受到限制.丁腈橡胶(NBR)是目前最重要的不饱和共聚物之一,广泛应用于密封、油田封隔器、液压胶管和汽车用橡胶制品等工业领域.由于丁二烯单元中的不饱和双键对热和氧敏感,导致NBR的耐热性降低.
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