为提高压电泵的输出性能,设计了两种结构的三腔并联压电泵。一种采用“层叠式”结构,另一种采用“一字”排列式结构。比较两种结构的体积,“层叠式”压电泵体积为74880 mm^3,“排式”压电泵体积为98928 mm^3,前者是后者的0.75倍。在80 V正弦交流电驱动下,工作频率在40~400 Hz内,对两种结构的三腔并联压电泵进行输出性能测试。可得,两种结构压电泵最大输出气体流量可达3405 mL/min,输出液体流量可达708 mL/min,输送液体压力最大可达20.6 kPa。结果显示,三腔并联压电泵可大幅提高泵的输出能力,并且采用“层叠式”结构设计可大幅度减小泵体体积。