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一等量块光波干涉测量要件

作者: 黄晓荣 李小林 来源:红外与激光工程 日期: 2023-06-16 人气:19
一等量块光波干涉测量要件
以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。

影响量块研合性的相关因素

作者: 董秀鹏 来源:机械工程师 日期: 2020-10-06 人气:70
影响量块研合性的相关因素
通过相关实验分析,介绍了提高量块研合性的有关方法,为今后工作提供了参考。
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