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集成电路模塑封装机液压系统

作者: 张继东 王金桥 曹玉平 张治 来源:液压与气动 日期: 2018-11-04 人气:3742
依据半导体集成电路制造技术及封装工艺要求讨论了模塑封装压机的结构特点及液压控制统应具备的性能.介绍、分析了两例模塑机液压系统设计.
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