采用高性能Tb0.3Dy0.7Fe2单晶材料，通过优化微位移致动器的机械、磁路参数，研制出了具有非水冷结构的新型微型位移致动器。致动器的最大线性工作区间为0.5-35.5μm，工作电压为2-24V，饱和驱动量可达39.5μm。

介绍作动器的结构组成,并对作动器工作原理进行分析。对旋转主动阀的配流过程进行分析,得到主动阀旋转过程中通流面积的变化规律。依据磁致伸缩材料输出特性以及旋转主动阀配流特性设计调频调速、调相调速及调幅调速3种方案对作动器输出流量进行调节。对比分析3种方案优缺点,并选择调幅调速作为作动器调速方案。基于调幅调速结合调相换向设计作动器位置控制方案,搭建测试平台进行实验验证。结果表明,所设计方案能够使作动器实现位移跟踪,跟踪幅值3 mm、频率4 Hz,正弦位移相对误差为0.87%。