新型高洁净度正负压气源及气密性检查装置的研制
1 前言 应用户要求,我们设计了一种新型高洁净度正负压气源及气密性检查装置,该装置利用射流技术,采用一个正压源驱动真空发生器同时提供正、负压两种气源.为了在规定的时间内完成气密性检查,对检漏容器采用正负压循环的方式,缩短了净化及干燥处理时间.采用国际上先进的压力、流量、时间和温湿度元器件并用PLC进行控制,自动直观地显示了容器内压力和温湿度的变化情况.它体积小、重量轻、洁净度高、使用和移动方便,满足并超过了用户规定的要求.
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