介绍了国内外各种角加速度计的结构及工作原理,阐述了角加速度计在国内外的研究现状,通过分析角加速度计的发展趋势,结合现有角加速度计的特点及不足,文中还提出了一种新型的微流体惯性质量角加速度计。微流体角加速度计只敏感输入轴上的角加速度,对外界输入的线加速度或振动能够较好地隔离。

为了获得具有良好微流动特性的圆截面微流体器件，并构建二维裸微结构微流体管道网络，设计了玻璃三通微流体管道热流变拉制仪。在三通微管道拉伸成形过程中，变形区热软化后的V形玻璃毛细管，可在冷却过程中一次性拉制成三通微管道，储液池在拉制过程的同时成型，并与三通管光滑连接。拉制仪可实现等内径和不等内径拉伸。通过对加热时间、拉伸行程和玻璃材料分配系数的调节，可以控制三通微管道各项参数。制备出了内径为67、32和20μm的圆截面三通微管道。它的三根微管道在三通结点处光滑连通；由于表面张力成型，微管道具有较高的表面质量。最后，以三通微管道和一维玻璃微管道为基础单元，组建了微流体管道网络。

微型泵作为集成微流体中不可或缺的元素,在过去20年间取得了很大的进展.基于真空负压驱动原理,研制了一种结构简单的蠕动式微型泵.微型泵由三层聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料构成(气路层,流路层,驱动薄膜层),并通过表面等离子体氧化处理技术实现了PDMS层之间的键合封装,其全部结构均采用激光器加工制作而成.蠕动驱动模式的关键在于利用气路周期性地传递负压力波,进而实现弹性薄膜的顺序变形,其中负压源通过电磁阀(EMV)进行通断控制.这种结构简化了常规蠕动泵模型中的复杂逻辑控制.实验结果表明在50kPa负压和30Hz驱动频率的条件下,获得的最佳流速为170 μL/min.