针对液压系统清洁度对整个系统故障影响缺乏量化分析方法和工具，液压系统故障及故障源的多样性问题，借鉴信息论的熵权法，对液压系统的清洁度和故障进行了分析。提出“清洁度熵暠的概念，分析了清洁度对液压系统故障的影响，建立了液压系统故障源的特性判断矩阵，将液压系统非损坏性故障追溯到各零件、油液等的清洁度，建立了清洁度熵的数学模型，并运用专家打分法对各清洁度熵综合权重进行了评价与排序，提取影响系统性能的关键故障源。结合实例进行了清洁度熵的计算，利用软件仿真法验证了清洁度熵计算过程，然后对故障源进行排序，得到了关键故障源。该方法弥补了传统的液压系统故障分析方法缺乏定量分析的缺点，使得液压系统故障原因的确定更为直接、准确。