微泵作为微流体系统中关键的执行器件，是微流体系统发展水平的重要标志。该文分析了近年来国内外出现的典型机械式微泵和非机械式微泵的工作原理、结构组成、优缺点，论述了微泵的加工制作技术以及国内外研究现状，最后对微泵的发展前景作了展望。