为提高蓝宝石衬底晶圆清洗质量和效率,对衬底晶圆表面杂质类型和清洗工艺现状进行了分析,并采用单片和湿法清洗工艺,完成了晶圆清洗工艺方案设计和清洗设备的研制,设备采取机器人搭载双机械手实现晶圆的取放,采用可调节高度的清洗海绵头、气雾喷头配合伯努力旋转工作台等实现晶圆的清洗。通过样机试验,晶圆表面清洗效果好,无晶圆二次污染及划伤问题,清洗质量满足工艺和使用要求。