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> 电容接口电路
单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计
作者:
黄晓东
张筱朵
王斌
秦明
黄庆安
来源:
微纳电子技术
日期: 2022-01-09
人气:3
介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容一频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用Pspice对接口电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数。最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80~110kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77Hz/hPa。
关键词:
微机电系统
单片集成
电容接口电路
电容-频率转化
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