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有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用
作者:
郝永平
卢继奎
杨芳
来源:
探测与控制学报
日期: 2022-07-06
人气:4306
针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值,引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时,封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明,温度和冲击作用于压阻式传感器封装结构对传感器的性能影响很小,均在万分之一数量级,与前人的试验结果吻合。
关键词:
MEMS
Coventor
WARE
温度
冲击
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