尽管红外微光谱有广阔的用途,但是由于光学规则与实际设计的局限性,其基本的空间分辨率受到了限制。傅里叶变换红外光谱的空间分辨率局限于3倍的红外辐射波长。通过使用衰减全反射（ATR）的方式,可以将其空间分辨率接近于其辐射波长。纳米级红外光谱（Nano IR）技术可以解决分辨率的限制,提供一种在200nm及其之上可以测量样品物理和化学性质的方法。