介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应，采用聚合物SU-8胶和金属镍作为功能材料和结构材料，铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真，模拟驱动位移随加热时间的变化关系，并由此得出驱动力的大小，比较结果后确定结构参数。再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺，加工制作出了电热微驱动器样品，并对样品进行了观测和分析。