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用多齿分度台标定激光小角度干涉仪

作者: 刘雯 沈妮 李天初 来源:计量学报 日期: 2023-01-30 人气:4
用多齿分度台标定激光小角度干涉仪
提出一种用多齿分度台发生标准角直接标定激光小角度干涉仪的新方法.这种方法缩短了溯源链,显著改善了不确定度.同时还提出正反测角差调整小角度干涉仪初始零位,从而现实可行地实现了初始零位的精确调整.用上述方法标定中国计量科学研究院新研制的激光小角度干涉仪,标定不确定度达到0.03″(k=2).
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