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静电悬浮加速度计与真空有关的噪声分析

作者: 薛大同 来源:真空科学与技术学报 日期: 2022-07-16 人气:4
静电悬浮加速度计与真空有关的噪声分析
从麦克斯韦速率分布函数和克努曾的"吸附层"假说出发,推导出静电悬浮加速度计核心部分因辐射计效应和残余气体平衡态阻尼引入的加速度热噪声表达式。指出辐射计效应是加速度计噪声的一个重要来源,气体阻尼的影响相对较小;加速度计长期保持优良的高真空是控制这两项噪声水平的必要措施;认为出气效应比辐射计效应大一到两个数量级是错误的。
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