利用干涉共模抑制和光电信号共模抑制技术，辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术，可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓。本文论述了上述测量系统的原理，结构和误差分析，并了关于三维微观轮廓的定义问题。