ＣＶＩ（化学气相浸渗）反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。用一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备，对底部进气的等温等压ＣＶＩ反应器内气体流场进行了模拟研究，得到如下结论：在气体入口处采用涡流器与多孔整流器，能消除中心射流并减小上部回流区域，扩大反应器的有效使用空间；使衬底与气体主流方向成一定的夹角，能有效阻止气体边界层的分离。

本文针对目前将水压技术应用在加载系统上时存在着自动化程度低控制精度差操作不方便等问题设计了一套自动协调加载系统用电液伺服阀取代了手动调节阀达到了对系统出口压力的精确控制并总结了在实际中应用的水压元件及系统的设计思路可以为今后的水压技术的研究提供一些借鉴.