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> 单光束干涉仪
基于单光束干涉仪的机床主轴热误差实时测量
作者:
高赛
曾理江
殷纯永
郑力
叶佩青
来源:
计量学报
日期: 2023-02-27
人气:7
主轴热误差是数控机床的主要热误差源,本文提出了一种使用三路单光束干涉仪(SBI3)进行机床主轴热误差的非接触式实时测量方法,可以快速准确地测量主轴热误差。实验结果表明,所测立式加工中心主轴热误差沿Z轴方向最大,约为50 μm,测量误差约为1.0 μm。
关键词:
数控机床
主轴热误差
实时测量
单光束干涉仪
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