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残余气体分析仪的远距离控制
作者:
肖琼
薛纪钦
彭晓华
来源:
排灌机械工程学报
日期: 2022-07-17
人气:6
本文介绍了MKS公司和INFICON公司的残余气体分析仪(RGA)的RS-232通讯电缆(与PC通讯)的接口引脚、功能以及从多芯简化为三芯的可行性。从而可以利用一对通用的RS-232/RS-485/422通讯转换模块将RGA的RS-232通讯转换为RS-485/422通讯,用极少的代价实现了计算机对RGA的远距离控制。
关键词:
残余气体分析仪
RS-232
RS-485
RS-422
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