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使用Fluke2635T校准仪自校EM电炉温度的新方法
作者:
马瑾怡
王邕保
张荣哲
陈祯祥
简维廷
来源:
上海计量测试
日期: 2022-07-17
人气:2
电迁移(Electro-migration, EM)是半导体元件可靠性检验的一项重要测试。在EM测试时,一般要使用电炉加温,以取得强化压迫(Highly Stressed)测试条件下的温度读数(150℃-350℃)和电流量的常数(
关键词:
校准仪
FLUKE
电炉
EM
温度
测试条件
自校
可靠性检验
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