大尺寸光学元件表面精度的测量，风洞流场图的定量分析，以及制作高精平面磁盘以提高其存储密度等都要用干涉计量方法对物体表面进行精密测量，而传统测试方法则远远达不到干涉计量法这样高的测量精度.