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基于旋转法的干涉仪系统误差标定

作者: 张建锋 曹学东 景洪伟 吴时彬 阴旭 来源:光电工程 日期: 2022-07-19 人气:4
基于旋转法的干涉仪系统误差标定
针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度。该方法根据Zernike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现。本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出具体实验结果与误差分析。实验结果表明,两种方法的测量结果基本一致,差值的PV值为0.006λ,RMS值为0.001λ。误差分析结果表明,一次旋转法的旋转误差小于N次平分法,因此一次旋转法是一种精度更高的方法。
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