为了解决传统扫描探针显微镜（SPM）控制器中参数难以设定的难题，提出了一种SPM的PI参数自整定控制器的设计，并给出了控制器的硬件结构和软件设计。该控制器基于DSP，通过引入扫描式参数优化算法来实现。结果表明，该控制器能自动完成PI参数的测算，并给出最优的PI参数，提高了SPM扫描图像的质量。