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一种新型单频激光干涉系统的研究

作者: 韩旭东 艾华 龙科慧 来源:光电工程 日期: 2022-08-28 人气:5
一种新型单频激光干涉系统的研究
这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题.利用共模抑制技术,提高了干涉系统的测量稳定性和重复性.采用光程差放大技术,提高了干涉系统的分辨力.
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