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> 单频激光干涉系统
一种新型单频激光干涉系统的研究
作者:
韩旭东
艾华
龙科慧
来源:
光电工程
日期: 2022-08-28
人气:5
这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题.利用共模抑制技术,提高了干涉系统的测量稳定性和重复性.采用光程差放大技术,提高了干涉系统的分辨力.
关键词:
单频激光干涉系统
激光干涉仪
偏振光移相
光程差放大
光路设计
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