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检测电压对一种新型谐振式微加速度计的影响

作者: 刘恒 张富堂 张凤田 何晓平 苏伟 来源:传感技术学报 日期: 2022-07-24 人气:3
检测电压对一种新型谐振式微加速度计的影响
静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度,介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理,建立了其动力学模型。根据检测电压的约束条件,求解了其可行范围。同时分析了检测电压对系统灵敏度、可靠性和量程及输出电压的影响。分析结果表明:检测电压越大,灵敏度越大,但可靠性和量程会相应减少,反之亦然;直流检测电压的存在使得输出电压不受检测电容并行的寄生电容影响。理论分析结果为谐振式微传感器的系统设计提供了重要依据。
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