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> 拍频干涉法
提高差拍法布里-珀罗干涉仪测量精度的研究
作者:
孙文科
许婕
殷纯永
李岩
来源:
激光与红外
日期: 2022-07-24
人气:5
文章在中国计量科学研究院研制的差拍法布里-珀罗(F-P)干涉仪基础上,提出用密封干涉光路的真空系统方法,来消除空气折射率变化对测量结果的影响。研究了空气折射率变化对测量精度的影响关系,给出真空系统所需的真空度的估计式。并设计制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统。
关键词:
纳米测量
法布里-珀罗腔
拍频干涉法
空气折射率
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