基于机器视觉的图像处理方法突破了检测区域的尺寸限制,能满足大口径光学元件表面洁净度检测的需要,但存在光、机、电耦合问题。采用多学科设计优化方法处理学科间的耦合关系,建立了学科间耦合关系和学科耦合分析模型,实现了学科协调;分析了光学系统设计、运动系统设计、结构设计、图像拼接、图像处理和洁净度计算等多学科子系统实现的关键点,建立了满足检测要求的检测系统。

鉴于低温超流氦工作系统的实际需要,在国内首次建立起了不锈钢材料表面（超）高洁净度检测系统。探索和提出对重要主辅材料的纯化和循环使用简便实用的工艺和方法,克服了国产检测介质和辅助材料的不纯带来的困难,完成了国家重大国际合作项目不锈钢组、零件表面洁净度的检测任务,为今后我国不锈钢材料表面（超）高洁净度检测工作提供了有益的经验。