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利用平面止推轴系研制高精度定心仪

作者: 杨李成 凌宁 来源:光电工程 日期: 2022-09-03 人气:2
利用平面止推轴系研制高精度定心仪
为了减小中心偏对光学仪器质量的影响,研制了一种利用平面止推轴系为基础的高精度定心仪.该定心仪测量精度角晃动≤2″,转台主轴径向晃动≤1μm.利用该仪器对多组准直物镜进行了装调和中心偏测量,取得了较为满意的结果.在WYKO数字干涉仪上对装调好的准直物镜的光学性能进行了检测,测得波面误差的峰谷值(PV)为0.143λ,均方根误差为(1/50)λ,斯特列尔比(Strehl)已达到98%.检测结果表明,利用该仪器装调的准直物镜可以达到很高的精度.
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