使用机械-化学抛光法加工大尺寸单晶硅可获超光滑表面．但很难保证良好的面型。提出通过采用开圆孔并连续注入抛光剂的方法来避免抛光盘中心蜂窝眼的出现，可以保证得到良好的面型。最后实验达到较好的面型精度，PV值0．268λ，rms值0．065λ。

在空间微重力和温度载荷的作用下，反射镜及其支撑结构的变形会影响或破坏光学系统的成像质量。从保证反射镜成像质量及功能的角度出发，介绍了某种光学遥感器反射镜及其支撑结构材料的选取原则；探讨了反射镜的支撑方式，提出了背部单点支撑与两点支撑两种方案；针对面型精度要求较高的反射镜，提出了柔性支撑结构的设计思想。采用有限元方法，对反射镜结构进行分析，并对采用柔性支撑结构后的反射镜进行静力学分析和模态分析。分析结果表明：两种支撑方案均满足面型要求，且前者优于后者。