介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法.给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果.

计算机辅助装调技术是通过计算机对理论和实时检测结果的分析计算来有效地指导装调技术，本文通过计算机对由柱面反射镜组成的红外反射护速系统的各种调整自由度的详细分析，以及在检测时对结果的实时分析，可确定合理的检测方案，有效的减少了调整时间，得了理想的结果。