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> 自组装
毛细力驱动自组装定位模型
作者:
赵旦谱
吴丹
陈恳
来源:
清华大学学报(自然科学版)
日期: 2022-12-05
人气:1
毛细力驱动自组装的定位是利用微元件及基片表面之间的毛细力作用实现的.为了研究微元件及组装区的形状对自组装定位的影响,在分析毛细力驱动自组装机理的基础上,利用能量法建立了毛细力驱动自组装系统的定位解析模型,预测了不同形状微元件的自组装结果,并对一些不合理的组装设计进行了修正.结果表明通过计算自组装表面能量可以预测组装结果,并设计合理的粘合区形状.
关键词:
自组装
微加工
毛细力
定位
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