较全面地介绍了用于表面微观轮廓测量的几种高分辨率甚至可达亚纳米的光学测量方法及其最新进展。文中重点描述了以扫描共焦显微检测法、离焦误差检测法为代表的光触针法，以ＴＯＰＯ轮廓仪、Ｎｏｍａｒｓｋｉ显微镜，外差干涉轮廓仪，双焦干涉轮廓仪和同轴干涉轮廓仪为代表的干涉同量法和以扫描近场光学显微镜及光子扫描隧道显微镜为代表的近场光学法三种适用于表面微观轮廓测量的光学测量方法，分别介绍了其工作原理、特性，发展现

介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,最后对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述.