有机磷农药（OPP）的大量使用已对环境水体造成污染.针对水中痕量有机磷农药检测的需要,设计并利用MEMS工艺制备了自带解吸加热器的微热板预富集芯片.为提高温度均匀性,芯片工作区背面留有硅膜;以马拉硫磷为例研究了预富集芯片工作区的温度均匀性及吸附膜厚度等对富集效果的影响.结果表明,提高预富集芯片解吸时工作区温度的均匀性有助于获得高的被测物浓度脉冲,从而改善离子迁移率谱仪（IMS）检测效果;在室温5m in搅拌采样的情况下,聚二甲基硅氧烷（PDMS）吸附膜厚度为30μm的芯片富集效果优于PDMS膜厚度为65μm和100μm的芯片.