运用反相补偿法原理，从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例，补偿后定位误差分别从17．4μm改善到1．3μm和从137．6nm改善到22．2nm。理论分析和实验结果表明，反相补偿法对于降低系统误差十分有效，但对于随机误差效果不佳。