基于Michelson干涉仪测量原理研制的微轮廓测量仪,载物平台采用步进电机和压电陶瓷(PZT)两级闭环驱动与定位,步进电机用于快速粗定位和扩大测量范围,压电陶瓷用于精密定位,重复定位精度为10 nm;测量光路采用共干涉系统,对机械振动,温度漂移不敏感;测量范围20 mm×20 mm×0.4 mm,纵向分辨率为0.32 μm,横向分辨率为0.5μm.

利用Michelson干涉仪的工作原理及光折变聚合物的光敏特性,提出了用Michelson干涉仪直接测量光折变聚合物折射率调制度的方法.利用制作的光折变聚合物样品,测得的数据与文献报道一致.分析了测量误差的影响因素,实验误差为3.78%,进而验证了该方法的可行性,并可以发展为光聚合物折射率调制度测量的通用平台.

动态校准系统是空间傅里叶光谱仪的关键技术之一，而动态测角作为动态校准技术的一个重要环节，其测角精度和测角范围是动态校准系统性能的保证。空间傅里叶光谱仪的工作环境要求测角算法能够实现高精度和大范围的倾角检测，基于此设计了基于瞬时激光信号功率检测的动态测角算法，介绍了该算法实现的关键技术环节，给出了实验结果。算法原理和实验结果均表明该算法可以实现精度高于0.03rad和范围超过±πrad的倾角检测，可为空间傅里叶光谱仪实时获取高质量的地球大气红外辐射干涉图提供保证。