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基于迈克尔逊干涉仪的斜率与形状测量系统

作者: 张于北 郭广平 张建合 刘庆珍 来源:仪器仪表学报 日期: 2023-08-14 人气:6656
基于迈克尔逊干涉仪的斜率与形状测量系统
运用迈克尔逊干涉仪的原理,可以十分容易地建立实时错位散斑斜率测量与条纹投射三维形状测量系统.通过一个压电陶瓷相移器,还能够在错位散斑斜率测量与条纹投射形状测量方法中实现自动相移技术下的相位测量.经过去除噪声、试验结果的计算机自动评价,测量数据的质量明显提高.使用这些技术,比较成功地完成了两项测试实验铝合金蜂窝板结构的内部缺陷检测和牙齿咬合面的形状测量,并给出了相应的实验结果和结论.
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