为实现压电微动工作台的快速准确运动定位，研究了其运动定位模型。压电工作台的运动定位精度主要受工作台动态特性和迟滞特性的影响，在介绍这两类典型特性模型及其适用范围的基础上，提出了能够同时体现压电工作台动态特性和迟滞特性的动态迟滞模型，并给出了采用Prandtl-Ishlinskii（PI）迟滞算子的动态迟滞模型参数辨识途径。以TRITOR100型压电工作台为例进行实验研究，结果表明：当压电工作台在30μm的定位范围内以±900V／s的输入电压速率进行快速运动定位时，动态迟滞模型的模型精度比以往常用的线性动态模型和迟滞模型有较大提高，其平均误差为0．16μm，最大误差为0．38μm，为高性能运动定位工作台控制系统的设计提供了模型基础。

为提高扫描电化学显微镜（SECM）微定位系统的运动定位精度,对其压电工作台的数学模型和控制器设计进行了研究。介绍了压电工作台的动态迟滞模型方程和采用Prandtl-Ishlinskii（PI）迟滞算子的动态迟滞模型,并在此基础上设计了压电工作台的复合控制方案。以CHI900B型扫描电化学显微镜的三维压电工作台为实验对象,对动态迟滞模型的具体建模过程进行了阐述,并验证了控制器的性能。在100 V/s和900 V/s两种不同输入电压速率下进行运动定位实验,动态迟滞模型平均误差分别为0.08μm和0.11μm,精度明中显优于压电工作台的线性动态模型和PI迟滞模型。复合控制方案下,系统跟踪±400μm/s任意三角波的平均误差为0.085μm,最大误差为0.105μm 跟踪复频波的平均误差为0.105μm,最大误差为0.115μm。控制效果较好。