分析了亚纳米测量外差干涉仪光源的选择和建立，由于Ｈｅ－Ｎｅ激光器在一定的横向磁场下产生横向塞曼效应，直接输出一对正交线偏振光，且其拍频频率较低，成为适于亚纳米测量的激光源。描述了一种基于８０８９单片机的稳频系统，利用模型预测控制算法对此激光器实现了长达１０ｈ的稳频控制。实验表明此横向塞曼激光器的稳频精度达３．３８×１０＾－１０，所引入的最大非线性偏差为０．２６ｎｍ，表明它可用作亚纳米测量精度外差干