在激光三角测量法原理基础上,应用光学系统成像技术,利用光电位置传感器PSD获得象点移动量,并根据象点移动量建立与被测物厚度-微位移变化之间的数学模型,通过象点位置变化的计算,研制了光学式非接触厚度-微位移测量仪.实现了被测物厚度-微位移变化量的测量.该测量仪的量程为1 000μm,分辨力小于0.2μm.