考虑激振模态的挤压膜悬浮导轨特性分析
挤压膜的膜厚数量级是微米级,当选用较薄的盘激振挤压膜时,激振盘振幅也可能达到或超过微米级,振型对膜厚的影响不能忽略。通过对激振盘振型的最小二乘拟合,得到激振盘的振动方程,从而得到在某频段强迫振动下膜厚方程的表达式。将激振振型与平均膜厚叠加,得到气膜的膜厚方程,然后通过数值方法来求解非线性雷诺方程,进而得出激振振型对气膜压力分布的影响。计算结果表明激振振型和膜厚数量级相同时,振型对压力分布有很大的影响,通过对此模型的分析,可确定激振盘的材料、几何尺寸和促动器的激振频率。
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