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> 振动环
一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作
作者:
张明
陈德勇
王军波
来源:
仪表技术与传感器
日期: 2023-02-11
人气:6
介绍了振动环式陀螺仪的基本工作原理,分析了传统的振动环式陀螺仪所存在的缺陷。并针对这些问题,设计和制作了一种单晶硅式振动环陀螺仪。该陀螺仪采用硅玻璃键合工艺制作,利用振动环作为敏感元件,选取静电激励、电容检测的工作方式。设计陀螺仪的工作频率高于15kHz,以降低了环境对陀螺仪性能的影响。陀螺仪的制作方法简单,只需要2块掩模板,便于批量化生产。
关键词:
振动环
陀螺仪
硅玻璃键合
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