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> 光刻胶热熔
微透镜阵列的光刻胶热熔制作技术
作者:
任智斌
朱丽思:
曾皓
姜会林
来源:
长春理工大学学报
日期: 2023-02-11
人气:11
介绍了利用光刻胶热熔法制作微透镜阵列这种简单、实用的技术。阐明了其原理、工艺流程、关键技术并给出了实验结果。结果表明,光刻胶热熔技术是一种简单、实用的微透镜阵列制作技术。本文的研究结果可为微透镜阵列的进一步研制及产业化提供参考。
关键词:
微透镜阵列
光刻胶热熔
反应离子刻蚀
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