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> Dall补偿器
非球面零件光学检测技术研究
作者:
程灏波
王英伟
来源:
航空精密制造技术
日期: 2023-10-31
人气:8920
针对非球面零件光学级检测技术进行广泛探讨,并针对课题研究中一抛物面镜实例,设计出实用型Dall补偿器,经优化后,保证检测面形精度达到0.004λλ=632.8nm。
关键词:
非球面
干涉法检测
Dall补偿器
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