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非球面零件光学检测技术研究

作者: 程灏波 王英伟 来源:航空精密制造技术 日期: 2023-10-31 人气:8920
非球面零件光学检测技术研究
针对非球面零件光学级检测技术进行广泛探讨,并针对课题研究中一抛物面镜实例,设计出实用型Dall补偿器,经优化后,保证检测面形精度达到0.004λλ=632.8nm。
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