对变截面柔性板机构的输入输出关系进行了理论分析,得出了一定受力条件下柔性板机构的输出位移。通过有限元仿真分析得出了输出位移,并进行了相应的实验验证,结果表明理论计算结果与仿真结果误差为1.4%,与实验结果的误差为7.5%,证明理论计算方法是有效的。运用理论计算方法分析了柔性板机构的切割半径、最小厚度、曲柄长度、宽度等关键参数对其输出位移的影响,为后续柔性板机构关键参数的优化设计提供了指导,为研究运动范围更大的柔性板机构提供了技术支撑。

微位移技术是实现超精密加工的重要途径，据此介绍了微位移的实现方法，并对压电陶瓷微位移机构系统作了进一步的介绍，阐述了系统的组成、工作原理、结构及特点．最后进行了采用MCS-51系列单片机控制的压电陶瓷微位移机构闭环控制系统来提高工件的面形精度的实验．结果表明，工件的面形精度提高了50％以上．